BOWMAN A系列

● X射線光學系統，用於使用μ點多導毛細管光學進行先進薄膜測量，以實現更小的斑點尺寸要求。
● Bowman W系列使用μ-spot多毛細管光學元件實現先進的薄膜測量。這款先進的XRF儀器具有小點，高通量X射線束和大窗口矽漂移檢測器，具有無與倫比的速度，精度和性能。
● 專為ENIG，ENEPIG和Electroless Nickel％P分析而設計，A系列非常適合包括PC板，引線框架，細線和更小光斑尺寸要求的晶圓的應用。

● 在與源距離相同的距離處實現比准直系統高出一百倍以上的通量。

● 雙攝像頭 - 單擊即可呈現250x：

Bowman A series微型 XRF專為精確測量半導體和微電子中最小的 X 射線特徵而設計。它適用於非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓，以實現全樣本覆蓋和多點可編程自動化。使用多毛細管光學器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM，這是使用 XRF 儀器進行塗層厚度分析時世界上最小的。一個 140 倍放大的相機用於測量該比例的測點；它配有一個輔助低倍率相機，用於實時觀察樣本和鳥瞰宏觀成像。Bowman 的雙攝像頭系統讓操作員可以看到整個零件，單擊圖像以使用高倍率相機進行縮放，並精確定位要編程和測量的測點。每個方向移動 600 mm 的可編程 XY 載物台可以處理業內最大的樣品。載物台每個軸的精度小於+/- 1 μm。