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L系列《大型測量艙型》
O系列《多導毛細管入門型》
M系列《多導毛細管進階型》
W系列《多導晶圓專用型》
A系列《超大行程全板測量型》
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L系列《大型測量艙型》
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[L系列] 加大測量艙
檯面尺寸：254mm x 254mm
行程：254mm x 254mm
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